《科创板日报》（上海，研究员米娅）讯，天眼查数据显示，睿励科学仪器(上海)有限公司1月7日发生投资人变更，新增投资人为国家集成电路产业投资基金股份有限公司、上海同祺投资管理有限公司和海风投资有限公司。与此同时，公司注册资本由约1.2亿元新增至约3.1亿元。
睿励科学仪器成立于2005年6月，最大股东为上海浦东新兴产业投资有限公司(由上海市浦东新区国资委全资持股），持股比例20.75%，此次入股的国家集成电路产业投资基金持股12.12%。
公司官网显示，睿励科学仪器致力于研发、生产集成电路生产制造工艺装备产业中的工艺检测设备，其产品包括光学测量设备、光学关键尺寸分析系统、镓液态离子源等。光学薄膜测量设备已被国内外多家知名300mm芯片生产企业采购并上线使用。
（来源：公司官网）
除睿励科学仪器外，另一家半导体检测设备公司上海精测（A股精测电子的子公司）去年12月底完成股权变更，获国家大基金大比例投资入股，持股比例15.38%，位列第二大股东。
大基金一期投资以制造为主线，集中产业龙头，设备材料投资金额占比为6%。根据多家券商判断，大基金二期将对半导体国产设备、材料的龙头公司加大投资，设备类投资占比将提升，一期未重点投入但潜力较大的领域（检测设备）也将获得重点支持。
2019年下半年，全球半导体设备行业强势反弹。10多家半导体设备龙头企业三季度收入环比回升13%，四季度将延续环比回升态势。中银国际预测，在5G技术带动下半导体行业将全面复苏，全球半导体设备行业规模将上一个新台阶，并大概率创历史新高。
2018年至今，大陆半导体设备市场需求占全球的1/5，成为全球第二大市场，本土晶圆厂设备采购额约占大陆设备市场的1/2。天风证券预测，2020年中国大陆半导体设备销售额将达到149.2亿美元，同比增加16%，预计2021年将进一步提高至164.4亿美元。
根据天风证券统计，2019年共有12座晶圆厂投产，总投资规模超过400亿美金，规划产能49.2万片/月。处于产能爬坡状态的晶圆厂共有13座，涉及投资金额超过530亿美金，现有产能大约33万片/月，未来会爬坡到超过100万片/月。2020年随着下游需求增长，半导体行业景气度提高，预计投产项目将陆续进入扩产阶段，产能爬坡将按计划或者超预期进行。
随着设备国产化提速，中银国际预计在2016-2019年进入主流晶圆厂工艺验证的关键设备，将在2020年获得实质性突破，在全球半导体设备市场进入新一轮扩展阶段，看好刻蚀、清洗、CMP、热处理等设备的国产品牌市占率稳中有升，光刻、涂胶显影、量测、CVD、PVD、ALD等有望获得重大进展。
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